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| PHOTON Design |
| (小型装置) |
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1.PDスコープ
カメラポート付CCDカメラ内蔵顕微鏡
2.ファイバ入射ユニット〔FN11〕
レーザ光をシングルモードファイバに入射させるユニット
3.スベクトロプロープCOMET〔CMT11〕
ラマン、PL、蛍光測定に用いる観察用CCDカメラを内蔵した顕微分光プロープ。
4.スベクトロメータ(分光器)〔PDP320〕
フォトンデザインのオリジナル分光器
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| (大型装置) |
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5.SOI測定装置
SOI(シリコン オン インシュレータ)半導体基板評価装置。
6.ワイドバンドギャップ半導体評価用ラマン測定装置
ワイドバンドギャップ半導体の表面層評価用顕微ラマン装置。
7.ワイドバンドギャップ半導体評価用PLマッビング測定装置。
ワイドバンドギャップ半導体の評価を、PL(フォトルミネッセンス)法を用いて行う装置。
8.赤外顕微ラマン測定装置
YAGレーザ(1.064μm)を励起光に用いた顕微ラマン装置。
○その他分光器、分光測定システム
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| (小型装置) |
| 1.PDスコープ |
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- カメラポート付CCDカメラ内蔵顕微鏡
- 目的(1)
高感度カメラや高解像度カメラ用顕微鏡。顕微鏡内部に、これらのカメラをサポートする小型CCDカメラを搭載しました。高感度カメラを用いた顕微鏡測定において、測定場所のサーチやフォーカス合わせを、内蔵された小型CCDカメラで行うことがでぎます。これにより、予想外の強い光による高感度カメラのダメージを避けることができ、また 画面表示のレスボンスが遅いことによる操作性の悪さを補うことができます。
- 目的(2)
(PDスコープ単品として)装置組込み用CCDカメラ内蔵顕微鏡として使用。
カメラポートに通常CCDカメラを追加設定すると、広視野と高倍率が同時に観察できます。
- 目的(3)
近紫外顕微鏡、近赤外顕微鏡、超長作動距離顕微鏡など、市販の顕微鏡では仕様を満たせない用途。
- 特長
・高感度カメラと内蔵CCDカメラの視野数がほぼ等しい。(市販の顕微鏡を使用した場合、受光サイズの大きな高感度カメラに対して、受光サイズの小さなインターライン型CCDでは視野が狭くなり、モニタカメラとして不便です。PDスコープは、内蔵CCDカメラの結像レンズが、カメラポート用結像レンズと独立しているため、視野をほぼ等しくすることができます。)
・市販の顕微鏡では設置できない装置組込み用顕微鏡としても使用できます。この場合、カメラポートにインターライン型CCDカメラ(オプション)を接続すると、対物レンズを換えずに内蔵CCDカメラで観察場所を広視野で捕らえ、さらに外部CCDカメラで高倍率観察することもできます。
・極長作動距離対物レンズが使用可能。
・可視以外に、NUV(350nmから可視)、NIR(可視から1.1μm)、IR(可視から1.7μm)対応モデル顕微鏡(NUV、NIR、IRモデル)もあります。
- マーケット 高感度カメラ購入希望の顧客。
高感度カメラのユーザ。
装置組込み用顕微鏡を検討している顧客。
長作動距離を必要とする顕微鏡アプリケーション(最大34mm)。
可視以外の波長を対象とするアプリケーション。
- モデル 4穴芯出レポルパ/1穴対物レンズホルダ/1穴横向対物レンズホルダ
可視/NUV/NIR/IR
- オプション 専用フォーカス機構
顕微鏡ベース(オリンパス製Power BX)
各種対物レンズ
各種カメラ
- 関連商品 FUV(250nmから可視)組込み顕微鏡
分光顕微鏡⇒COMET
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特注 リモートコントロールモデル(切換器を電動化)
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概算価格
190〜280万円
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| 2.ファイパ入射ユニット〔FN11〕 |
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- レーザ光をシングルモードファイパに入射させるユニット
- 目的
レーザ光をシングルモードファイバに入射させるためのユニットで、ファイパコアヘの位置合わせ、入射角度、フォーカスなどが、内蔵CCDカメラにより確認ができます。FN10をさらに小型化と価格ダウン。装置の光路組換などの実験準備が、正確にかつ簡便に行える優れもの。
また、ビームスタピリティの安定度に欠けるレーザや、複数の波長が発振できるレーザでは、実験装置の一部として組み込まれ重宝されています。
- 特長
内蔵CCDカメラにより、正確な調整が可能です。使用レーザにより、最適な光学レンズを用意。
- オプション マグネットベース
光学ベンチ用キャリア 他
- 標準構成
FN11本体(CCDカメラ、照明装置内蔵)
固定用ペースユニット(M6用)
14インチモニタ
- 概算価格 80〜90万円
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| 3.スペクトロプローブ COMET〔CMT11〕 |
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- ラマン、PL、蛍光測定に用いる観察用CCDカメラを内蔵した顕微分光プローブ。
- 目的
集光レンズ、励起ファイバ入射系、散乱光ファイパ集光系、試料観察用系をユニット化。試料室に設置できない大型サンプルセルでの測定に最適です。好評のCMT10を小型化。
- 特長
内蔵CCDカメラにより、正確な調整が可能。
内蔵カメラは、広視野用と高倍率用の2種類を搭載。
超長作動距離対物レンズ(オリジナル):最大34mm。
- モデル
4穴芯出レボルバ/1穴対物レンズホルダ/1穴横向対物レンズホルダ
可視/NUV/NIR
ラマン/DAC/その他蛍光、PL等
- 周辺装置 モノクロメータ
CCDディテクタ
各種レーザ
光ファイバ
- 概算価格 250〜310万円
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| 4.スペクトロメータ(分光器)〔PDP320〕 |
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- フォトンデザインのオリジナル分光器
- 目的
Jobin Yvon HR320の生産縮小に伴い開発した分光器で、他社分光器にはない高性能(カタログ参照)。性能本位で検討しているユーザには最適。フォトンデザインの大型装置に組込む分光器として開発したが、ユーザからの要望により単品販売を開姶しました。
CCDを殆めとするMCD(マルチチャネルディテクタ)が分光のメジャーなディテクタとなったため、PDP320は、MCD用分光器(スペクトロメータ)として設計され、PMTなどによる波長スキャン分光器(モノクロメータ)は、別のモデルが用意されています。
- 特長
グレーティング電動ターレット(最大4枚)。
高分解能(残留収差がHR320と同等に少ない)。
低迷光(多重回折無し)。
入射光を観察するCCDカメラを用いたビュアが装備できます。
- 周辺装置 コントローラ
CCDディテクタ
- 概算価格
250〜380万円
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| (大型装置) |
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5.SOI測定装置 |
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- SOI(シリコン オン インシュレータ)半導体基板評価装置。
- 目的
PL(フォトルミネッセンス)法を用い、SOIの評価を行います。
- 特長
他に適当な分析手法はありません。
- ユーザ層
SOI製造メーカやプロセスメーカ(受入検査用)向け
- 概算価格 5000〜7700万円
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| 6.ワイドバンドギャップ半導体評価用ラマン測定装置 |
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ワイドバンドギャップ半導体の表面層評価用顕微ラマン装置。
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目的
SiC、GaN系(GaN、AIGaN etc)等のワイドバンドギャップ半導体における最表面層(エピタキシャル膜、イオン注入層)を、ラマン法を用いて評価を行います。特にSiCは他の手法に比べ極めて有効です。
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特長 最表面層の評価が行えます。
- ユーザ層 国公立系研究所、大学、民間などの研究開発機関。
- 概算価格
5500〜8500万円
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備考 経済産業省のコンソーシアムプロジェクトで開発しました。(開発元:株式会社フォトンデザイン)
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| 7.ワイドバンドギャップ半導体評価用PLマッピング測定装置 |
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- ワイドバンドギャップ半導体の評価を、PL(フォトルミネッセンス)法を用いて行う装置。
- 目的 GaN系(GaN、AIGaN etc)等のワイドバンドギャップ半導体における評価を行います。
- 特長
非球面ミラーなとを使用し、高い性能を有します。
- ユーザ層 国公立系研究所、大学、民間などの幅広い研究開発機関。
- 概算価格 2500〜5500万円(大学向け実験装置マッピング無900〜1200万円)
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| 8.赤外顕微ラマン測定装置 |
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- YAGレーザ(1.064μm)を励起光に用いた顕微ラマン装置。
- 目的
通常の可視ラマン装置に比べ、蛍光の影響を受けにくく、InGaAs MCDディテクタの出現で高性能装置化が可能となります。
- 特長
専用の光学系を開発いたしました。
- ユーザ層 国公立系研究所、大学、民間などの幅広い研究開発機関。
- 概算価格 3300〜4400万円
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| ○その他分光器、分光測定システム |
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○ ラマン装置
● 顕微ラマン測定装置:MARS他
● 紫外顕微ラマン測定装置
● プローブラマン装置
○ PL装置
● Si用PL装置
● ワイドバンドギャップPL装置
○ DAC装置
● DAC用ヘッド
● DAC用スペクトログラフ
○ 分光器
● 超高分解能低迷光モノクロメータ:DMDP(換算焦点距離8000mm)SOPRA製
● 超高分解能モノクロメータ:PDS1500、PDS2000(SOPRA F1500、F2000ベース)
● 高分解能モノクロメータ:PDJ640(Jobin Yvon HR640ベース)
● モノクロメータ:PDJ320(Jobin Yvon HR320ベース)
● 零分散ダブルモノクロメータ:PDPT(オリジナル、焦点距離320m
● トリプルモノクロメータT64000PD(Jobin Yvon T64000ペース)
○ サンプル室
● 高性能分光顕微サンプル室:PDRSM700
● 分光顕微サンプル室:PDRSM300
● 紫外用高性能分光顕微サンプル室:PDRSM700UV
● 倒立顕微鏡用分光顕微サンプル室
○ その他、分光光学装置およぴ持注光学装置。
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